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尹志尧3nm刻蚀机是真的吗

尹志尧3nm刻蚀机是真的吗(和“光刻机”同样重要的“刻蚀机”是怎样造出来的)

fwxlw fwxlw 发表于2025-02-23 22:22:24 浏览16 评论0

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和“光刻机”同样重要的“刻蚀机”是怎样造出来的

光刻机和刻蚀机的区别:

刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。

“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。

1944年,尹志尧出生在北京的一个爱国家庭,他的祖父是公费留学生,父亲也曾留学日本然后又回到祖国,为国家做贡献。

1962年尹志尧顺利考入中国科学技术大学化学物理系,1968年顺利毕业后,他先后分配到兰州炼油厂和中科院兰州物理化学所工作,1978年,尹志尧再接再厉又进入到北京大学化学系攻读硕士学位,1980年他又前往美国加利福尼亚大学洛杉矶分校,继续深造在获得物理化学博士学位。

之后尹志尧在硅谷工作了20年在此期间先进入到英特尔公司,1986年尹志尧受邀加入到L5M,主要负责等离子体刻蚀设备的研发,1991年应用材料公司请他担任等离子刻蚀总部的工程及技术主管。为了避免知识产权方面的问题,他带领团队从头开始,仅用了九年时间,就让应用材料公司占据国际刻蚀机设备市场的40%

尹志尧在半导体行业,有86项美国专利,和200多项各国专利,并被公认为是硅谷最有成就的华人之一。

然而就在60岁退休之际,尹志尧做出了一个大胆的决定,他带着自己的15人团队回到了中国,2004年,他创办了中微半导体公司,让中国突破了刻蚀机的技术垄断奠定了我国自主生产芯片的技术,如今,中微半导体公司生产的刻蚀机在米粒上刻一亿个字到十亿个字的突破,而尹志尧对祖国的贡献还在继续。

为什么说麒麟970芯片的研发,尹志尧功不可没

经的尹志尧一直在硅谷工作,被很多业内人士称为是“硅谷最有能力的华人之一”,甚至他一个人就掌握了超过60项芯片技术的专利。但是尹志尧心里一直有一个“回国梦”,他说:即便是我在国外做的再好,那也是为他过作嫁衣裳,我希望自己可以学成回报祖国,让国内的芯片技术也可以在世界上拥有一定的话语权。

后来的一天,他真的这样做了。2004年,60岁的尹志尧坚定了回国的决心,他毅然决然地辞去了美国硅谷的百万年薪的工作。但是对于这样一位掌握着芯片技术核心的老人,美国自然也不会那般容易就放他回来。不仅对他进行了严格的审查,还收走了他名下的全部设计图和记录,想要用这种方法劝阻他回国。

然而对于种种阻挠,尹志尧还是坚定着自己的回国梦,最终他成功了,不仅自己回国,还带回了自己的30多人的研发团队和60多项芯片技术专利。他回国以后就带领着研发团队一路高歌猛进,是要做出国内的高端芯片。而海思麒麟970这颗芯片,大部分的功劳就要归属于尹志尧和他的研发团队了。

如今的海思麒麟处理器是为数不多的可以在高端领域直接对话苹果和高通的品牌,甚至海思麒麟目前是晶体管最密集的芯片,它在100平方毫米的面积内,集成了55亿颗晶体管,这比苹果和高通的30多亿要高出一截。

后来尹志尧先生名下的中微集团直接宣布掌握了5nm的工艺技术,这让美国有些措手不及。毕竟如今高通公司最厉害的也不过是7nm的工艺。看样子,尹志尧先生不仅仅是要做出我国自己的高端处理器,还想要弯道超车纸直接赶超欧美日韩,做到世界第一呀。

所以说喝水不忘挖井人,如果没有尹志尧这样的“不忘本的科学家”,我国肯定也没有这样的高端自主芯片了。相信未来会有更多想尹志尧这样的科学家,放弃在国外的优良待遇,选择回国发展,为我国的科技发展贡献自己的一份力量。

60岁美籍博士毅然回国,赤手空拳发明中国专利半导体,后来怎样

人类最有价值的道德是什么?那就是爱国心.——拿破仑

正所谓科教兴国,自从新中国成立以来,我国各方面都在飞速发展,取得了非常瞩目的成绩,尤其在科技方面,进步非常明显,很多研究几乎已与发达国家持平,但因为有些科技技术起步比较晚,还是有一些关键技术并未实现真正的自主研发,依然需要依靠进口。

在这种情况下,被卡脖子是常有的事。看到祖国这个情况,一位老科学家挺身而出,带领自己的团队回到了中国,为中国冲破技术垄断作出了巨大的贡献,他就是尹志尧,正因为他当时义无反顾之举,中国有了真正属于自己的专利技术!

优秀的家庭造就优秀的他

1944年,尹志尧出生于北京一个书香世家,从他的祖父那一代开始,家族一直都很兴旺,受到国家的重视。祖父曾是一名公费留学生,眼界、格局都非常高。而他的父亲,也在祖父的培养下曾去国外留学,毕业后放弃国外的高薪毅然选择回到中国成了一名教授,为祖国效力。

要知道在当时的中国,还处在动荡不安的环境中,父亲回国也自然受到了很多人的不解,但浓浓的爱国情操使他毅然毫不犹豫做出了这个选择。尹志尧也受到了父亲的影响,从小就对祖国充满了感激之情。

在这样一个优秀的家庭中成长起来的尹志尧也非同一般,他从小学习就非常好,成绩一直名列前茅。他的兴趣爱好也很多,尤其喜爱下棋,据他所说,这个爱好,能锻炼人的思维能力和分析能力,空暇时间,他经常和祖父来上那么几盘,一玩就是一整天。

1956年,尹志平考入北京第四中学,和同龄人比起来,尹志平就像一个成熟稳重的老大哥,见识颇广,深受同学和老师的喜爱。在校期间,他还一直在共青团少先队里任大队长,能力十分出众。

1962年,尹志尧以优异的成绩考入了中国科学技术大学化学物理系。他有着丰富的想象力,超级活络的思维,在这一专业中非常吃香。在所有人看来,化学物理是一门非常枯燥乏味的学科,然而尹志平却如鱼得水,学得风生水起。

他尤其喜欢做科研和实验,经常在实验室一呆就是一下午,为了能让自己的专业知识更加巩固,他经常泡图书馆,不懂就问老师。尹志尧的努力上进很快得到了老师的重视,很多老师在做实验的时候都喜欢带着他一起,像工作伙伴一样和他一起探究。

为学技术而出国

1968年,毕业后的尹志尧被分配到中科院兰州物理化学所成了一名研究员,他在这岗位上一呆就是10年,然而到了后期,随着研究深入,他发现自己知识储备量支撑不起研究的进度,他的研究进入了瓶颈期。

为了能学到更多专业知识,他一边工作,一边学习,1978年考上了北京大学化学系硕士,之后,他暂时放下工作,只身前往北大攻读了2年。在这2年中,尹志尧取得了很多优异的研究成果,他写的研究论文被发表在很多专业报刊上,这些论文中深度的见解和剖析,被加利福尼亚大学看重,向他抛来了橄榄枝。

在当时,中国的科学发展还处在起步阶段,为了能学到更多专业知识,向世界看齐,权衡之下,尹志尧决定前往加利福尼亚大学留学,在留学期间,他像一块海绵一样,不断向导师和同学吸收知识,很快几乎整个学校都认识了这位来自东方的朋友。

而他也成功获得了物理化学的博士学位。1984年,博士毕业的尹志尧很快得到了第一份工作,美国硅谷英特尔公司邀请他到美国总部担任工程师兼研究员。可以说,英特尔在当时是世界上研发计算机最出色的公司之一。

而尹志尧在北大读硕的时候有幸见过一次这体积庞大的计算机,那个神奇的机器在尹志尧的心中一直念念不忘。当时的中国,根本没有研发这个机器的团队。几乎是不假思索,尹志尧立即答应了这个邀请。

1984年,他来到硅谷,在英特尔公司呆了几年,掌握了技术之后,又跳到LAM研究所和应用材料公司等任职。在这16年的职业生涯里,尹志尧也获得了不小的成就,他所在的团队,仅用了9年时间,就让应用材料占领了40%的市场份额,还有多项专利,成绩斐然的他,也被尊称为硅谷最有成就的华人之一。

念念不忘中国,功成名就之时毅然回归

自从进入2000年以来,中国科技发展几乎是日新月异,科技类企业层出不穷,各项研究开发如火如荼地展开着,慢慢踏上了国际轨道!这时候的中国,正急需有知识有才学有能力的人回来贡献自己的力量!

16年前,尹志尧已经60岁了,这个已经活了大半辈子的老人积极响应祖国的号召,毅然放弃了国外的高薪和名利,回到了祖国的怀抱!此时的归国,他不仅带回了自己的全部知识和技术,更是带回了自己在国外的一整个团队,足足有15人!

但因为美国对知识产权特别的监管十分严格,尹志尧及其团队只能两手空空地回来,将所有的书面材料都留在了美国。回国后,尹志尧马不停蹄地在上海注册了中微半导体设备公司并担任了公司的董事长兼总裁。

创业初期,尹志尧及其团队遇到了很多难题,几乎是赤手空拳打天下,只能依靠自己脑子里这多年积累下来的丰富经验和专业知识从零开始。当时,西方国家拥有半导体的垄断权,中国所有核心技术都是依靠西方国家进口,为了能让祖国摆脱这种情况,尹志尧和团队开始了技术研发。

经过多年的试验,在尹志尧的带领下,这些专家们还真的生产出了只属于中国专利的半导体专利,尤其是在刻蚀机这一块,中微半导体研发的刻蚀机,竟实现了在米粒上刻1亿个字到十亿个字的突破,完完全全突破了国外刻蚀机的技术垄断。

这个技术也为我国自主研发芯片奠定了坚强的技术基础,为祖国的核心技术发展创造了新的机会!老骥伏枥志在千里,尹志尧并不止步于此,为了能让祖国更上一个台阶,他的团队还在孜孜不倦地努力着。如今,尹志尧老先生已经是70多岁的高龄,但他从未想过放弃自己的使命,他的科研精神,值得我们每个人学习。

60岁创办中微半导体!自研出首台5nm刻蚀机,确立了技术地位领先

近两年,我国半导体行业的发展速度很快,但和美国等 科技 巨头相比较,技术仍是落后别人,但是国内产生所自研的技术、设备都能达到世界领先水平。最成功的案例莫过于蚀刻机设备,国内芯片企业所自研的蚀刻机已打破海外的技术垄断。

很多人都不清楚,蚀刻机的重要性并不低于光刻机,两者皆是生产高端芯片的重点设备。

但是,我国的光刻机设备一直处于十分落后的状态,很难让国内半导体厂商生产出高端芯片工艺。而蚀刻机在我国却是特别先进,用于下一代新高端工艺芯片生产,也是绰绰有余。

据了解,中微半导体的所自研的高精度蚀刻机已达到5nm,是国内半导体高端设备的顶尖存在,更是国际半导体行不可忽视的力量。在全球半导体设备企业满意度调查中,中微半导体公司排进世界第三,这也说明很多客户对于中微半导体产品是非常认可的。

要知道,中微半导体之所可以取得今日的巨大成就,完全离不开中微半导体创始人尹志尧,尹志尧拥有200多项各国专利和86项美国专利,而在美国硅谷也是具有一定影响力的华人之一。60岁时的尹志尧身披荣誉,决定携带团队回国创业。

尹志尧携团队回国,创办了中微半导体公司,并且展开对蚀刻机设备的研发,仅仅几年时间,中微半导体企业便自研出第一代介质刻蚀机,该蚀刻机采用单独操作双反台,该设备相比其它蚀刻机效率提升了30%,中微半导体也在市场上获得了好名声。

随着中微半导体的创新技术不断产出,在一段时间当中,中微半导体毅然遭到了美国技术的封锁,直到2015年期间,美国才放弃对中微半导体公司的技术封锁。

中微半导体成立的第11年,中微半导体再次自研出首台最先进的5nm刻蚀机,自此,中国的5nm蚀刻机在全球确立了5nm刻蚀机技术的地位领先。

现如今的中微半导体5nm蚀刻机设备已和台积电等芯片代工企业采购,目前,对于国内的芯片产业链来看,中微半导体已经可以长久的供应技术维持。

对于中微半导体公司的未来发展你怎么认为?

中微为何这么强3nm刻蚀机助力国产芯,意义力压IBM首个2nm芯片

芯片已经成了近来的热点,并且不断向更小的制程迈进。 目前,5nm工艺已经成熟量产,台积电、三星还在研发3nm工艺。前段时间,三星还全球首发了一款3nm存储芯片。 近日,芯片行业又迎来了两大重要突破。那么,究竟哪个意义更大呢?

这两天,老牌 科技 巨头IBM公司发布了全球首个2nm芯片的消息突然传来,一下成为了热议话题。不过令人纳闷的是,我们听到最多的, 芯片制造方面全球领先的不是台积电和三星吗,怎么突然是IBM发布了全球首个2nm芯片工艺技术?

IBM是全球最大的信息技术和业务解决方案公司,我国华为曾在1998年与IBM达成了为期10年、学费高达40亿元人民币的咨询项目,因此受益匪浅。 IBM还曾是一家主要的芯片制造商, 但在 2014年退出代工业务,将其晶圆厂出售给格芯。

IBM在半导体发展过程中也曾推出多项突破性技术,目前还保留着一个芯片制造研究中心。 这次宣布的2nm芯片制造技术就是这个研究中心,据说可以容纳500亿个晶体管, 相比于7nm芯片, 预计将提升45%的性能、降低75%的能耗。

然而,我们必须明确一个事实,研发出来了并不代表能够量产。从制造工艺上看,IBM实现了跨越到2nm的进步,但其已没有芯片制造能力 ,现已将其大量芯片生产外包给三星电子,并且现在台积电和三星都还在研发3nm工艺芯片制造技术。

上边说的2nm芯片消息是国外的公司,国内芯片行业也传来了重大好消息。 我国的中微半导体公司成功 3nm 刻蚀机,并且 原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估 均已经完成,更值得一提的是, 3nm 刻蚀机 已经进入到量产阶段。

中微半导体是由归国博士尹志尧带领团队创办的,他可是也不得的人物,曾获得过400 多项各国专利,被评价为“硅谷最有成就的华人之一”。 中微研发的刻蚀机已经处于全球领先水平, 之前的5nm 刻蚀机就已经应用到台积电产线。

这次中微突 破了3nm刻蚀机,再次证明了中国企业的技术实力。中微的很多刻蚀设备已经国际一线的芯片制造生产线及先进封装生产线上应用, 这次的3nm刻蚀机能够应用到更先进的高端芯片制造产业链中,将进一步提高我国的芯片话语权。

IBM发布了2nm芯片制造技术,中微突破了3nm芯片刻蚀机,这两个都是芯片行业的重大技术突破,都将促进芯片行业的未来发展,那么哪个意义更大呢?

首先,从全球的角度来分析。IBM这个2nm只是突破了芯片制造技术,并不能实现量产,还是需要依赖代工厂。 而IBM 与三星和英特尔签署了联合技术开发协议,可以授权使用其芯片制造技术,英特尔7nm还没突破,要代工最大可能是三星。

现在三星还在进行 3nm技术攻坚,即 使联合IBM,实现2nm量产也需要几年时间。看似现在领先于台积电,但台积电 也一直在研发,谁能先量产还不一定,因此IBM的2nm意义并不十分重大。 而中微的3nm刻蚀机已可以量产,等台积电、三星3nm制造技术突破,就可以直接应用到产线,相比之下中微的突破意义更大些!

其次,从国内的角度来分析。 IBM的 2nm芯片制造技术对我们更没有意义,现在我国最先进的中芯国际还在进行7nm量产攻坚阶段。 而中微半导体作为中国企业,率先突破的3nm刻蚀机能够跻身国际一线,大大提高了我国在芯片行业的地位!

中微半导体的技术全球领先,再次证明中国人是有实力突破芯片相关技术的,随着发展中国必将出现更多的中微类芯片先进企业,到那时中国芯必将摆脱国外限制,针对华为的“芯片禁令”将会毫无竟义,中国芯片产业将会腾飞!

尹志尧3nm刻蚀机是真的吗

尹志尧3nm刻蚀机是真的吗2004年,尹志尧成立中微公司,专注于研发半导体设备。2019年,中微公司在科创板首批挂牌上市,从事高端半导体设备的研发、生产与销售。在2020年度业绩说明会上,尹志尧表示,公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产。2020年度报告显示,中微公司2020年公司实现营收22.73亿元,同比增长16.76%;实现归属于上市公司股东的净利润4.92亿元,同比增长161.2%;扣非归母净利0.23亿元,同比下降84.19%。报告期内,公司刻蚀设备收入为12.89亿元,同比增长约58.49%。

中微半导体5nm真假

中微半导体5nm是误导性新闻。

某网络媒体未经证实发布了关于 “当所有的巨头还在为10nm、7nm技术大肆进军的时候,中国中微正式宣布掌握5nm技术”的误导性新闻,后经多家媒体转载造成了不实信息的扩散。

中微公司从未发布上述信息,也从未授权任何媒体机构和个人刊发、转载此报道。该报道曲解了中微在3月11日CCTV-2《中国财经报道》节目中的采访内容,节目中提到中微公司的某个机台正在测试5纳米工艺。

在采访报道中,中微董事长兼CEO尹志尧博士表示:“国际上最先进的芯片生产公司像英特尔、台积电、三星,他们的14纳米已经成熟生产了,10纳米和7纳米很快进入生产,所以我们必须超前,5纳米今年年底基本上就要定了,现在进展特别快,几乎一年两年就一代,所以我们就赶得非常紧。”

 实际上,正是中微的客户——国际一流的集成电路制造厂商,推动了芯片技术和生产一代又一代的进步。中微作为设备公司,是向他们提供可加工先进器件的设备,协助他们实现新一代器件的开发和生产。中微不可能脱离他们的5纳米技术开发,而独立地掌握5纳米技术。

中微从事的是半导体高端设备的开发、销售和售后服务,是一种市场化的商业行为,在国际半导体设备产业,参与产业链的合作和竞争也是十分正常的。文章的作者也不应该将这种正常的商务行为过分夸大和渲染,造成不必要的、非商业的敏感性。

扩展资料

刻蚀机是芯片制造的核心设备,和光刻机的作用是一样重要的,只不过其不存在技术壁垒,所以不存在一家独大的局面。

刻蚀机主要用来在芯片上进行微观雕刻,刻出又细又深的线条和接触孔,需要注意的是,这些线条和接触孔的加工精度是头发丝直径的几万分之一,可见这项工作有多精细,这也对刻蚀机的精度提出了很高的要求,不能有丝毫偏差,而如今中微半导体成功研发出5nm刻蚀机也能够解决芯片研发中的难题,意义重大。

中微半导体刻蚀机不仅获得台积电的认可,而且还获得不少国产厂商的青睐,近日长江存储就向中微半导体采购9台刻蚀机,接下来中微半导体还将和粤芯、合肥长鑫等多家厂商合作,国产厂商齐心协力,共同打赢这场芯片反击战。

落后海外5到10年!芯片专家实话实说,揭示出国产芯片的现状

华为等企业面临的芯片卡脖困境,成功掀起了国内的半导体国产替代热潮,大批半导体企业顺势崛起,资本对这一市场的关注也多了起来。

不过在迎头追赶的同时,很多人也产生疑问,国产芯片的发展现状到底如何呢?与海外的差距到底有多大?

4月20日,知名媒体人杨澜采访了中微公司董事长尹志尧,这位被誉为“硅谷传奇”的芯片行业老将,一语道出了国内芯片产业发展现状。

在各方力量的推动下,国内在半导体领域无疑进入了加速发展时期, 尤其在中低端芯片市场,中国企业已经掌握了一定的话语权。 比如中芯国际的成熟工艺制程已经实现量产,并得到了诸多厂商的订单。

不过,在高端芯片领域,国内却还存在较大短板。同样以中芯国际为例,虽然该公司14nm工艺的良品率已经逼近台积电,7nm也传出了试产的消息, 但与台积电即将量产的3nm相比,中芯国际的工艺至少落后了三代。

而尹志尧也直接指出, 国内厂商要想实现对国际巨头的追赶,至少还需要5到10年的时间。 而在这期间,国内厂商不仅需要攻克先进技术,还需打破芯片产业链关键设备的垄断,难度可想而知。

纵然难度重重,但国内厂商从未放弃。况且,作为制造业大国,我国本身便具有颇多优势,这都为芯片的国产替代提供帮助。

总所周知, 集成电路本身属于技术密集型行业,任何企业都无法独自完成芯片设计到生产、封测的全过程。 即使是光刻机垄断者ASML,也需要全球各地的供应商,助其完成光刻机的生产。

而国内完备的芯片产业链,正是国内企业实现赶超的最大助力。根据尹志尧的说法,虽然国内芯片产业链的整体技术相对落后, 但胜在产业链完整和技术稳定。

目前, 国内在芯片设计、生产、封测以及半导体设备研发领域,均有龙头企业出现 。除了中芯国际,以华为海思、紫光展锐为代表的芯片设计厂商,以中微半导体为代表的刻蚀设备生产厂商等,都在国际范围内争夺了一席之地。

此外,虽然国内厂商面临的封锁不断,但不可否认的是, 华人在半导体理论研究和技术突破方面,都曾发挥了十分重要的作用。 比如,最先进的5nm和3nm的三极管结构,便是由华人教授吴正明提出。

因此,只要国内半导体业界潜心研究,便可最终打破垄断,实现中国芯的崛起。